KOFLOC流量控制器DF-200,DF-250C比较大入口压力500kPa(G)耐压980kPa(G)He泄漏率1x10-11Pa.m3/sec以下温度使用温度5～50℃精度***温度15～35℃允许储存温度-10～60℃允许环境湿度10～90%RH（无结露）气体接触材料SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co电气连接D-sub9针KFCStandard（依据SEMIstandard），RJ-45模块化插孔x2流量设定信号0~5VDC（输入电阻约1MΩ）流量输出信号0~5VDC（负载电阻10kΩ以上）数字通信使用RS485旋转开关设置地址：**多99台（9600bps）所需电源（DC）+15VDC（±5％）：150mA，-15VDC（±5％）：150mA接头相当于1/4VCR安装姿势推荐水平方向重量（*9）约1100g（*1）应为干燥气体，无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。（*2）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc/min和L/min的值。（*3）对于流量范围（比较大满量程）的精度。（*4）工作压差可能因规格而异。SNS450-A4-WR1(P11365) SN450流量控制器 SN450-A4-GSP11241) SN450-A4-GSP-S(P11161) SN450/1-A4-GSP(P11228)。苏州小岛流量控制器

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